Oxide Sputtering Targets

 

Shape: discs, plate, rod, tube, sheet, Delta, and per drawing 

 

Spec.: 

Diameter: 355.6mm (14") max. 

Single piece Size: Length: <500mm, Width: <250mm, Thickness: >1mm,

 if larger size than this, we can do it as tiles joint by 45 degree or 90 degree.

 

Made sputtering targets method: hot pressing (HP), hot/cold isostatic pressing (HIP, CIP), and vacuum melting, vacuum sintering

 

Material Name

Purity Composition)

 Al2O3

 99.8%, 99.99%

Al2O3-ZnO (AZO)

99.99%, 2-98wt%

 Sb2O3

 99.9%

Sb2O3-SnO2 (ATO)

99.99%, 90/10wt%, made per requested

 Cr2O3

 99.9%

 CuO, Cu2O

 99.9%

 Fe3O4, FeO, Fe2O3

 99.9%

 In2O3

 99.9%

In2O3-ZnO

99.99%, 90/10wt%, made per requested

 MgO

 99.99%

MoO3

99.5%

 NiO

 99.9%

 Nb2Ox, Nb2O5

 99.99%

 SiO, SiO2

 99.99%

 Ta2O5

 99.99%

Ta2O5-Er2O3

99.9%, 95/5wt%, made per requested

 TiO, TiO2, Ti3O5, Ti2O3

 99.5%

 SnO2, SnO

 99.9%

In2O3-SnO2

99.99%, 90/10wt%, 95/5wt%, made per requested

WO3

99%

WO3-Al

99.9%, 90/10wt%, made per requested

WO3-Li

99.9%,97/3wt%, made per requested

ZrO2-Y2O3 (YSZ)

99.95%, 85/15wt%, made per requested

 ZrO2

 99.5%

 ZnO

 99.99%

Ga2O3-ZnO (GZO)

99.99%, 90/10wt%, made per requested

In2O3-Ga2O3-ZnO (IZGO)

99.99%, 95/5/5at%, made per requested

We have only listed the more popular material. Please feel free contact us with any special requirements at any times, we will try to get back for you ASAP.

 

 

 

</